团队以有机半导体材料金属酞菁（MPc）为敏感材料，首创了通过结合高导电性能的石墨烯量子点（GQDs），并辅以蓝紫色激光（405nm，50mW）诱导等离子效应，实现了低功耗情况下对NO2、NH3等气体分子的高灵敏检测（ppb量级）以及快速响应和恢复（秒量级）。此外，通过改良了一种MEMS工艺中的光刻剥离（lift-off）技术，已经实现在硅基、陶瓷基和柔性基底上制作微型传感器叉指电极，具有尺寸微小（0.10mm2）、信号传导快、规模化制备的优势。本项目可以有效解决传统半导体式气体传感器必须高温激发、加热恢复、检测精度和检测极限不足等难题，并且具有结构稳定、制作成本低廉、特异性强等优势。本项目将推动半导体式气体传感器的发展，对提高气体监测系统整体的便携度和智能化水平将发挥积极作用，助力中国环保、安全监测等事业。 目前，企业累计服务客户超300家、间接覆盖客户超千家（其中不乏大型国央企、省部直属科研院所），涵盖钢铁、化工、环保、水泥、医药、生物、食品等多个领域的气体监测需求。 【展开】 【收起】